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了解無塵無氧化烤箱各組成部件功能特點(diǎn)才能更好的使用它

更新時(shí)間:2025-10-20   點(diǎn)擊次數(shù):113次
   無塵無氧化烤箱是半導(dǎo)體制造、精密電子、光伏產(chǎn)業(yè)、新材料研發(fā)等領(lǐng)域中的熱處理設(shè)備,專為對(duì)潔凈度與氣氛純度要求高的工藝而設(shè)計(jì)。無塵無氧化烤箱通過多重技術(shù)手段,實(shí)現(xiàn)超凈環(huán)境、無氧氛圍與精準(zhǔn)溫控,廣泛應(yīng)用于晶圓烘烤、光刻膠固化、薄膜退火、陶瓷燒結(jié)等關(guān)鍵工序。

 


  1、不銹鋼內(nèi)膽
  采用316L或更高規(guī)格的鏡面拋光不銹鋼(Ra≤0.4μm),表面致密光滑,不易吸附微粒,耐腐蝕性強(qiáng)。內(nèi)膽無縫焊接,減少死角,便于清潔,有效防止顆粒污染與金屬離子析出,確保腔體長(zhǎng)期潔凈。
  2、高效過濾系統(tǒng)(HEPA/ULPA)
  配備H13-H14級(jí)HEPA或U15-U17級(jí)ULPA超高效過濾器,過濾效率達(dá)99.99%(0.3μm)以上。通過強(qiáng)制循環(huán)風(fēng)系統(tǒng),持續(xù)凈化腔內(nèi)空氣,維持ISOClass3-5級(jí)(百級(jí)至千級(jí))潔凈度,杜絕微粒污染。
  3、惰性氣體保護(hù)系統(tǒng)
  集成氮?dú)猓∟)、氬氣(Ar)或混合氣體管路,可實(shí)現(xiàn)腔體正壓保護(hù)。通過高精度流量計(jì)與電磁閥,自動(dòng)控制氣體充入、置換與維持,將氧含量降至1ppm以下,有效防止高溫下材料氧化、變色或性能劣化。
  4、真空系統(tǒng)
  配備機(jī)械泵或分子泵,可抽至高真空(≤10Pa),排除空氣與水分。適用于對(duì)殘余氣體敏感的工藝,如金屬薄膜退火、高純材料燒結(jié),確保材料純凈度。
  5、循環(huán)風(fēng)道與均流設(shè)計(jì)
  采用側(cè)吹或頂吹式循環(huán)風(fēng)道,配合導(dǎo)流板與均流網(wǎng),實(shí)現(xiàn)腔內(nèi)氣流均勻分布。避免局部過熱或溫差過大,確保±1℃以內(nèi)的高精度溫度均勻性,提升工藝一致性。
  6、智能溫控系統(tǒng)
  搭載PID或模糊控制算法,通過高精度熱電偶(K型或S型)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度。可編程多段升溫曲線,支持Ramp-Soak控制,升溫速率、恒溫時(shí)間、降溫模式靈活設(shè)定,滿足復(fù)雜工藝需求。
  7、加熱元件
  采用遠(yuǎn)紅外石英加熱管、陶瓷加熱器或不銹鋼鎧裝電熱絲,表面不產(chǎn)塵、不氧化。加熱元件置于腔體外部或獨(dú)立風(fēng)道內(nèi),避免直接輻射污染樣品,確保加熱過程潔凈無污染。
  8、觀察窗與照明系統(tǒng)
  配備雙層或三層真空玻璃觀察窗,外層鋼化,內(nèi)層硼硅酸鹽,隔熱防爆。內(nèi)置LED冷光源照明,可在不開啟箱門的情況下實(shí)時(shí)觀察樣品狀態(tài),減少污染風(fēng)險(xiǎn)。

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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主營(yíng)產(chǎn)品:無氧化烘箱,精密熱風(fēng)烘箱,晶元烘箱,百級(jí)氮?dú)饪鞠?/strong>,無氧烤箱
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