防氧化烘箱特別適合半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求，廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等行業(yè)。

熱風循環(huán)烘箱，精密烤箱適用于烘烤有化學性氣體欲烘烤物品、基板應(yīng)力的去除、油墨的固化、漆膜的烘干等。廣泛使用于PCB、電子、電機、通訊、電鍍、塑料、五金化工、印刷、噴涂、玻璃、陶瓷等的精密烘烤、高溫去應(yīng)力、老化、烘干、定型、加工等

清潔烤箱，無塵烤箱用于IC生產(chǎn)過程中極為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤（軟烘），脫水烘烤，涂膠后的堅膜烘烤（硬烘）；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

為了獲得良好的聚酰亞胺性能，非常好的溫度均勻性，低氧含量和低顆粒數(shù)是非常重要的，無塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹脂（PI）烤箱腔內(nèi)的氣體保持相當干凈（100級），良好的溫度均勻性。通過氮氣吹掃可將氧氣含量降低至20ppm以下。這保證了非光敏聚酰亞胺的優(yōu)異工藝結(jié)果。

無塵室烤箱，半導(dǎo)體無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；HMDS無塵烤箱可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

無塵室干燥箱，試驗用百級烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加工半導(dǎo)體用烤箱， SECS / GEM無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后固化、堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協(xié)議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協(xié)議都受支持。每臺設(shè)備都可以使用由GEM