氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠洌讳P鋼充氮烘箱

氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠洌讳P鋼充氮烘箱用途：

  氮?dú)夂嫦洌讳P鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

氮?dú)夂嫦洌南涞獨(dú)饪鞠洌讳P鋼充氮烘箱技術(shù)參數(shù)：

1.名稱：精密充氮烘箱（JS-DJQ）

2、主要技術(shù)指標(biāo)：

2.1溫度范圍： RT+10～250、350/450℃；

2.2溫度均勻度：≤±1.5%℃；

2.3升溫速度：0-10℃/min；

2.4潔凈度：無(wú)發(fā)塵材料，可達(dá)使用環(huán)境潔凈等級(jí)；

2.5工作尺寸：450×450×450mm，600×W700×H800mm；多尺寸可定制

2.6電源：AC220V、380V/50HZ, 4.0KW ；

2.7 計(jì)時(shí)功能：具有獨(dú)立的計(jì)時(shí)器，計(jì)時(shí)復(fù)位開(kāi)關(guān)，計(jì)時(shí)報(bào)警器；

2.8 進(jìn)氣口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制0-250ML可調(diào)；

2.9 安全保護(hù)功能：超溫保護(hù)，電機(jī)過(guò)熱保護(hù)，過(guò)流保護(hù)，電磁門鎖（防止高溫開(kāi)門），三色燈指示。

選配功能：

氧濃度：≤10PPM；

潔凈度：class100；

降溫功能：水冷+風(fēng)冷

自動(dòng)化系統(tǒng)：MES，GEM等智能系統(tǒng)；