半導(dǎo)體充氮烘箱，氮?dú)饪灸z烘箱

   精密烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

半導(dǎo)體充氮烘箱，氮?dú)饪灸z烘箱

2.1溫度范圍： RT+10～250℃；

2.2溫度均勻度：≤±1.5%℃；

2.3升溫速度：0-5℃/min；

2.4潔凈度：無發(fā)塵材料，可達(dá)使用環(huán)境潔凈等級；

2.5工作尺寸：D450×W450×H450mm，D500×W600×H750mm；多尺寸定制

2.6電源：AC220V/50HZ, 4.0KW ；

2.7 計時功能：具有獨(dú)立的計時器，計時復(fù)位開關(guān)，計時報警器；

2.8 進(jìn)氣口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計控制0-250ML可調(diào)；

2.9 安全保護(hù)功能：超溫保護(hù)，電機(jī)過熱保護(hù)，過流保護(hù)，電磁門鎖（防止高溫開門），三色燈指示。

   氮?dú)饪灸z烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱內(nèi)部整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動停電及報警電路，控制可靠，使用安全。