產品中心您的位置:網站首頁 > 產品中心 > HMDS烘箱 > HMDS鍍膜機 > JS硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備
硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備

硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備

簡要描述:

硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備通過表面修飾的模板,可以大大降低模板與壓印聚合物層之間的相互作用力,在納米壓印過程中實現結構較好的轉移,復制.

硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備背景

  納米壓印技術的生產采用物理接觸的方式進行圖形轉移,這種方法能達到很高的分辨率,最小分辨率小于5納米。子版可以反復使用,大大降低了生產成本,也有效提高了生產效率。納米壓印技術作為很有希望的下一代光刻技術,具有成本低,重復性好,可控性強等一系列優點,逐漸被應用于微細加工的各個領域。 由于壓印是在微結構上完成的,因此摩擦力以及隨之而產生的脫模成為影響壓印質量的一個關鍵問題。

脫模

  脫模,顧名思義就是將晶圓從子版中脫離下來。脫模后,就將完整的光柵結構留在了晶圓上面。

采用辛基三氯硅烷對納米壓印技術中所用模板進行表面修飾,用氣相法在模板表面形成單分子膜的形成過程及化學機理,通過表面修飾的模板,可以大大降低模板與壓印聚合物層之間的相互作用力,在納米壓印過程中實現結構較好的轉移,復制.


硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備核心組件

氣路系統:N2、硅烷與其他反應氣體輸送。

反應腔室:耐高溫、耐腐蝕材料制成,配備加熱器。

真空系統:維持低氣壓環境,可達1Torr以下。

尾氣處理裝置:處理未反應的硅烷(因硅烷易燃易爆,需通過燃燒或吸附中和)。

控制系統:人機界面,監控溫度、壓力、氣體流量等參數。

溫控系統:RT-200℃高精度日制溫控器+RSS回路,防超溫保護裝置

安全系統:集成自動硅烷加注系統和微電腦控溫模塊,實現真空抽排、氮氣置換、溫度控制的全流程自動化?。一鍵式操作界面支持多組程序存儲,滿足2英寸至12英寸晶圓的差異化處理需求?。

抗粘劑蒸鍍系統應用領域


半導體制造:沉積介電層(如SiO?、SiN?)、鈍化層或隔離層。

光伏產業:制備非晶硅/微晶硅薄膜太陽能電池的吸收層或鈍化層。

顯示技術:用于TFT-LCD或OLED顯示屏中薄膜晶體管(TFT)的絕緣層或鈍化膜。

MEMS器件:構建微機電系統的結構層或保護層

納米壓印:脫模劑硅烷沉積

生物芯片:硅烷增粘劑沉積

新材料:納米陶瓷材料、多孔碳復合材料表面修飾

光學玻璃:硅烷增粘劑沉積


   半導體設備廠商上海雋思儀器,硅烷氣相沉積設備包含增粘劑硅烷(HMDS等)、抗黏劑硅烷沉積、脫模劑硅烷(PFTS)沉積、表面改性修飾硅烷處理等,精密熱板、HMDS預處理系統烘箱、智能型HMDS真空預處理系統烘箱、MSD超低濕烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱,氮氣烘箱、無氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空儲存柜、超低溫試驗箱、超低濕試驗箱等環境可靠性設備。


COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備等,歡迎來電咨詢硅烷沉積設備 抗粘劑蒸鍍系統 納米抗粘設備詳細資料等信息
地址:上海奉賢臨海工業園區818號
主站蜘蛛池模板: 人妻人人澡人人添人人爽人人玩| 欧美激情在线一区二区三区| 欧美乱大交XXXXX疯狂俱乐部 | 国产720刺激在线视频| 亚洲日本va午夜中文字幕一区 | 中文国产成人精品久久不卡| 2022国产成人精品福利网站| 精品日韩在线视频| 晚上一个人看的www| 国内精品久久久久伊人av| 四虎永久免费地址ww484e5566| 亚洲中文字幕久久无码| 99精品欧美一区二区三区综合在线 | 一个人看的视频www在线| 青青青国产精品视频| 日本高清免费aaaaa大片视频| 国产精品青草久久久久福利99| 四虎永久免费地址ww484e5566| 中国在线观看免费的www| 精品国产污污免费网站入口| 日本中文字幕有码在线视频| 国产精品久久久久久久久齐齐 | free性中国熟女hd| 色宅男午夜电影在线观看| 最近中文字幕高清中文字幕电影二 | 波多野结衣中文字幕视频| 性满足久久久久久久久| 免费大黄网站在线观| 一级黄色片在线观看| 肥老熟妇伦子伦456视频| 日韩午夜在线观看| 国产日韩欧美91| 亚洲人成色777777在线观看| 99久久精品午夜一区二区| 欧美日韩3751色院应在线影院| 国内精品视频一区二区三区| 亚洲人成综合在线播放| 韩国三级大全久久电影| 性中国videossex古装片| 亚洲精品无码乱码成人| fabu14.xyz|