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六箱體氮?dú)夂嫦洌鄠}式潔凈烘箱選配功能： 輔助降溫：水冷、風(fēng)冷降溫 操作界面：人機(jī)界面+PLC,工控電腦 錄入信息：掃碼槍 監(jiān)測功能：氧含量分析儀等
class100高溫潔凈烘箱，程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警、運(yùn)行方式：定值、程式，中、英文操作。
晶圓潔凈烘箱，不銹鋼百級烤箱定制安全裝置漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺異常蜂鳴器警示、門面安全開關(guān)。
