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堅(jiān)膜無(wú)塵烤箱，半導(dǎo)體無(wú)塵烘箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過(guò)程中堅(jiān)膜工藝。也用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

高溫?zé)o塵無(wú)氧烘箱，晶圓無(wú)氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).

硅片無(wú)氧烘箱，半導(dǎo)體厭氧烤箱，在工作時(shí)，工作室內(nèi)充滿(mǎn)了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

無(wú)氧烘箱，防氧化高溫烤箱工作室內(nèi)充滿(mǎn)了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。

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無(wú)氧烤箱，厭氧烘箱廣泛用于航天、石油、化工、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位做材料、零件、設(shè)備等的高溫潔凈和無(wú)氧干燥及老化試驗(yàn)。