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水冷無氧化烘箱,高溫無氧烘箱升溫方式:程序線性升溫 降溫方式:風冷+水冷輔助降溫 氧含量:氧含量≤20ppm
真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纖維熱處理,
無氧固化爐,高溫無氧化固化烤箱應用半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纖維熱處理。
雙腔無氧烤箱,兩箱無氧烘箱單腔內尺寸:W450×D450×H450,上下層兩個腔體,可定制其他尺寸,多腔體
鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質固化,LCP材料熱處理、鍵合材料預處理,FOWLP扇出封裝,ITO膜/鋁/銅退火,PBO膠固化等特殊工藝。
PI無氧烘箱工藝流程用于半導體/電子/新材料/新能源等行業。BCB、PI、PBO膠固化,LCP新材料、鋰電池等產品熱處理。
精密干燥箱,高精度烘箱用于半導體,電子,實驗室,金屬,橡膠等行業。烘干,固化,老化等工藝??裳由鞛檎婵蘸嫦?,無氧烘箱,潔凈烘箱,HMDS烘箱等。